CZ単結晶炉用合成黒鉛ブロック

CZ単結晶引き上げ炉用人造黒鉛

人造黒鉛CZ法による単結晶シリコンの育成に使用されます。 単結晶シリコンの製造では、通常、最初に多結晶シリコンまたはアモルファスシリコンを製造し、次に主に半導体部品の製造に使用される単結晶シリコンのロッドを、ストレートドロー法またはサスペンジョンゾーンフュージョン法のいずれかによって溶融物から成長させることが含まれます。

現在、単結晶シリコンの製造方法としては、単結晶シリコンインゴットを作製するまでに複数の工程を経る直引法（CZ法）が一般的である。 半導体結晶の成長に使用されるすべてのプロセスは高温と過酷な環境で行われるため、工業用結晶成長炉のホットゾーンには、高温と腐食に耐性のあるグラファイトコンポーネントが装備されていることがよくあります。

高純度は、特に結晶成長中の半導体グラファイトにとって重要な要件です。 グラファイト中の不純物は結晶品質のさらに重要な決定要因であるため、不純物含有量は 5 ppm 以下に維持する必要があります。

SHJ Graphite では、当社の専門家が数十年の経験に基づいて最良のものを選択します。黒鉛材料お客様のCZ結晶成長炉向け。

細粒グラファイトブロック

SHJ Suppy グラファイト材料 (細粒グラファイト)CZ単結晶引き上げ炉用

CZ法による単結晶シリコンの成長は、高純度グラファイト成分とグラファイトフェルト絶縁体に大きく依存しています。 製造用の人造黒鉛を提供しています。グラファイト部品黒鉛るつぼや黒鉛ヒーターなどの単結晶シリコン成長炉内。

アドバンテージ

• 製品: 結晶成長はすべて超高温および超高純度の条件下で実行されるため、炉は非常に堅牢なコンポーネントで作られている必要があります。 この分野のグラファイト技術の世界的リーダーとして、SHJ は CZ 結晶成長炉用の高純度、耐熱性、耐腐食性のグラファイト部品の製造に最適なグラファイト材料を提供しています。
• テクノロジー: 当社の研究所の専門家は、グラファイト材料の品質基準の設定に積極的な役割を果たしています。 CZ 炉の仕様に関係なく、SHJ は CZ 炉内の幅広いグラファイト コンポーネントに使用する適切なグラファイト ブロックを提供できます。 グラファイト材料分野における当社の広範な専門知識を活用して、完璧なソリューションを見つけることができます。
• サービス：また、高純度グラファイト製品のメーカーとして、当社は梱包や輸送を含む生産チェーン全体を通じて正しい取り扱いと加工を保証し、特定の用途に対して適切な技術的アドバイスを提供します。 当社の製品と専門知識は、効率的な結晶成長プロセスを強力にサポートします。

黒鉛材料に加え、黒鉛坩堝や黒鉛ヒーターだけでなく、各種黒鉛カーボンフェルトや結晶成長装置用フロンなど、単結晶シリコン結晶成長炉用黒鉛コンポーネントも提供しています。

当社は国内外のカーボン加工のノウハウと実績が豊富で、グラファイトをはじめ、カーボンカーボン複合材やカーボンフェルトなどの断熱材などの部材の製造・加工が可能です。 特に溝や穴などの加工品の歩留まり、公差の均一性、研磨の均一性を得意としています。SHJはお客様と緊密に連携し、相互発展を図ります。

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